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2013年8月 9日 (金)

真・MFC千夜一夜物語 第107夜 MGMRはMFC進化の証!? その3

 

MGMRタイプMFC(マスフローコントローラー)のお話です。

前回CF(コンバージョンファクター)をマルチガス対応が一筋縄ではいかない、とお話ししました。1番目の問題点として、N2との流量比が必ずしも1対1の関係に無いガスが存在すると説明させて頂きましたが、もう少し具体的にお話させて頂きましょう。

(敢えて今回のご説明では2番目の問題=バルブ特性のファクターを除き、純粋な流量測定=MFMとしての機能に絞ってご説明します。)

 

N2用に調整されたMFCに、あるガスAを流した場合、N2との流量比率がある1つの比で表される場合は、以下のグラフのような流量特性となります。この場合は1つのCFで算出される流量比で補正することで傾きを調整し、N2MFCをガスA用に調整できるように思えます。Cf

 

ところが実際、ガスAが必ずしもN2と一つの流量比では無かった場合、一例として以下のグラフのような流量特性を示してしまいます。

Cf2

 

これでは1つのCFN2用のMFCセンサー出力を補正して実ガスを流した場合、見かけ上グラフの点線で示した流量出力が得られていても、実際のガスは実線で示している分の流量になっており、斜線部分の流量誤差が全域で生じてしまうということになります。これが一筋縄でいかない理由です。

当然この傾向はガス種によって異なるのですが、大変困った事には、よくトラブルを起こしてMFCを即交換しなくてはならなくなるようなガスに限って、こういった傾向が顕著なのです。

次回は、それをどう克服して今のMGMRが誕生したか?のお話です。


【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

 

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