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2013年8月 7日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第105夜 MGMRはMFC進化の証!? その1

この10年でメジャーになったMFC(マスフローコントローラー)の新技術=マルチガス・マルチレンジ(以下MGMR)をご存じでしょうか?

MGMRタイプのMFCはPCのソフトでガス・流量をある程度の範囲で書き換えることができるのです。MFCという製品は、基本的にガス・流量・継手等の仕様が決定してから、メーカーさんで製造する受注生産品です。そして、一度納入されたMFCのそれら仕様を変更する・・・例えばN2MFCAr用にする・・・といった対応は、メーカーさんに送り返して改造して頂くしかありませんでした。

 

ところがMGMRタイプが世の中に出現してからは、ある程度の範囲でこの書き換えが可能になりました。それも、ものの数秒で。すごいことです!

でも、勘違いしないでくださいね。F.S.1SCCMのMFCを100SCCMにしたり、F.S.50SLMのMFCを100SCCMにするようなマジックはできません。なぜならこの物語で都度お話ししてきましたようにMFCの基本構成となる流量を計る=センサー、バイパス、流量を制御するバルブのオリフィス径、アクチュエータのリフト量というハードウエアというパッケージがカバーできる範囲には限界があり、一つの組み合わせで全てのガス種と流量レンジのマトリックスを網羅することは当然できないのです。

ここで「ガス種と流量レンジのマトリックス」という言葉を使いましたが、元来MFCはガス種という観念を独立して定義しているのではなく、実はコンバージョンファクター=CFという流量の相対比で考えています。N2/100SCCMのMFCにN2を流すと当然100SCCMAr/100sccmMFCN2を流すと71SCCM程度という形で、ガス種は流量比率だけで定義することが可能なのです。もちろんガス同士の関係は、単純な一定比率ではなく流量レンジによって微妙に変化する傾向があり、N2を基準としたときに重いガスになればなるほど、その偏差が大きくなるようです。

そういったガスの特性差による比率変動幅は今までMFCの実ガス誤差の要因とされ、メーカーは複数のコンバージョンファクターを準備して対応してきました。でも、この経験からそういった傾向を実測しデータベース化することで、このMGMRと言う観念が生まれたのです。一言で「実測」、「データベース化」と言いましたが、実はこの背景にはMFCメーカーさんの長年の取り組み、投資があるのです。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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