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2013年8月 6日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第104話 【MFC用語辞典】Part3

MFC(マスフローコントローラー)の四方山話をさせて頂いています。

またまた【MFC用語辞典】の登場です。過去の連載で使った言葉に再度簡単な説明とコメントをつけて取り上げてみます。普段の記事より肩の力を抜いて読んで頂けるよう不定期で挿入していますが、実は普段よりキツイコメントを書いていたり、次回への伏線だったりもします。

 

デジタル(ディジタル)MFC

・デジタルか?ディジタルか?英語を日本語カナ表記に全て変換などできないのでどっちでもいい話

・従来のMFCの制御回路をデジタルにしたものをデジタルMFCと呼ぶ

・対義語はアナログMFCだが、アナログと言いながら回路の一部がデジタルなものもあり微妙な呼称かもしれない

・かなり勘違いされやすいが、ほとんどの場合、流量検知部のセンサーはアナログのままである

・デジタルは高精度、高速応答という思想は一時の「CD,DVDは高音質・高画質」信仰に似ている

Decoの私見では、「性能のピーク値向上より、平均値の向上と多機能化」が主な特長

・各種通信対応できるが、MFCを「流量制御目的の単機能部品」として使用するなら、無理に通信する意味はない

・通信はむしろサブシステムでのデータロギング、MGMR(マルチガス・マルチレンジ)対応等、保守メンテナンスで有意義化される

 

コンバージョンファクター(CF

・あるガスと基準となる窒素(N2)1とした時の流量比率のこと

・つまりCF=0.5のガス用MFCにN2を流した場合、流量表示値の倍流れていることになるが・・

・MFCのセンサーの出力比であり、ガス毎のバルブの特性変化は無視されていることが多い

・つまり本当にN2が倍流れるかは、バルブ設定を確認しないとわからないということ

・ガスによりCFは一つではなく、流量レンジや圧力、温度といったファクターで数種存在する事もある

・なのにメーカーとして公表しているCFは、1ガスにつき1つであることが多い

・メーカーの公表しているCFには、実測値と計算値によるものがあった

・実測とは1つのMFCに複数のガスを流して、その実流量比を測定しなくてはならないということで・・・

・つまり「このガスを通常設備で流すのは危険では・・・」というガスは、実測でない可能性が高い

・結論:あまり当てにしてはいけない係数であり、あくまで目安と考えた方がいい

・こういう議論で最後にでる台詞は「MFCに求められているのはあくまで再現性だから」である。確かに正しいが、なんとも華のない話である

 

マルチガスマルチレンジ(MGMR)

MGMRMulti-Gas/Multi-Range の略 複数のガス、複数の流量レンジに変更可能なMFCのこと

・たまにMRMGと表記するメーカーもあるが、同じ意味です

・反対語はシングルガスシングルレンジ(SGSR)だが、要は今までのMFCのこと

・今まで同じガス・流量レンジの在庫を複数ライン分保有していた生産工場などでは、1台で数種類に対応できるMGMRに切り替えれば在庫を圧縮可能

・だからといって1台で全てのガスと1SCCMから1000SLMまでをカバーできるわけではないので、どれくらいの削減が可能かはメーカーに確認してみましょう

・メーカーにより、対応ガスやレンジは異なるので、よく調べて選びましょう

・変更作業は、PCとの通信確保とソフトでの操作が必要。今のところスマホではできない・・・はずw

MGMR変更後のMFCの製品保証をするか?どうか?は意見が別れるところ

・そもそも自分たちでセンサークリーニングなどのメンテもやっちゃうアメリカ人は歓迎だが、自己責任を嫌う日本で普及するかは当初危惧された点

・ガスの変更を気軽に行えるが、当然変更に際しての操作ミスでの不具合発生はメーカーの保証外しませんので、ご注意を!

・実はMGMRの恩恵はユーザーよりメーカーにある。受注生産・工場制手工業からMFC脱却する道

 

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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