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2013年7月22日 (月)

真・MFC千夜一夜物語 第93話 【MFC用語辞典】Part1

当ブログではMFC(マスフローコントローラー)の四方山話をさせて頂いています。

今回は休憩&今までのおさらいの意味で【MFC用語辞典】として過去の連載で使った言葉に再度簡単な説明とコメントをつけて取り上げてみます。

MFC

Mass Flow Controllerの略語。訳すと「質量流量制御器」

・内蔵する熱式センサーが、ある条件下では疑似質量流量を計測できる事を利用した流量制御器

・日本ではよく「マスフロー」と呼称される

・スタンドアロン機器に見られがちだが、電源&ガス供給条件に性能を左右される

・トラブルの原因としてやり玉に挙がることが多いが、実は無実なこともあるかわいそうな機器

・あくまで流量を制御するだけであり、ポンプのように流量を作り出すことはできない

MFM

Mass Flow Meterの略語。訳すとそのものずばり「質量流量計」

・内蔵する熱式センサーが、ある条件下では疑似質量流量を計測できる事を利用した流量計

・「マスフロー」と一般的に呼称された場合、MFMではなくMFCであることが多く、マイナーな存在

・流量表示だけならば、電源不要なフロート式流量計が依然として強く、マイナーな存在

・MFCには仕様圧力条件があるが、MFMでそれを明記してい無いことが多い。だからといって真空から耐圧限界までで性能保証できているかは微妙な所

 APC

Automatic Pressure Controllerの略語。訳すと「自動圧力制御器」

・MFCとは似て否なる用法の物なので、誤用しないように

・MFCの流量センサーを圧力センサーに置き換え、流量制御バルブで作り出せる範囲の流量ベースで圧力を調整するMFCの従兄弟みたいな機器

・MFCメーカーならどこでも開発できるが、必ずしも性能がいいとは限らない

・レギュレーターとの違いは、ぱっと見は電気式と機械式の差だが、むしろガスを流さない状態で調圧できるか?できないか?が重要な差=ガスの流れを調整することで、その上下流に圧力形成するのがAPC

NO

・ノーマリオープンNormally Openの略語

・MFCの場合、非通電時に流量制御バルブが全開状態となることをいう

・電気回路の故障でバルブへの通電が断たれた場合も全開となるので要注意

・反面、バルブが全開ならばパージはしやすいため、周辺の空圧弁との組み合わせ次第

・ある種類の装置以外では、使用されることは少ない

NC

・ノーマリクローズNormally Closeの略語

・MFCの場合、非通電時に流量制御バルブが全閉状態となることをいう

・「故障したら閉」は安全に思えるが、MFCのバルブに完全な締め切り性能が無いからガスシャットオフは保証されていない、パージラインがないと残留ガスを抜けないという盲点がある

MFC出荷数の8割以上がNC

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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