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2013年7月17日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第90夜 地震が来たらMFCをどうしたらいい?その2

MFC(マスフローコントローラー)を使用している最中に大規模な地震が発生した場合、どうしたらいいでしょうか?というお話です。

 

危機回避の原則は「君子危うきに近づかず」です。

一見消極的ですが、大事な自衛策ですね?地震だけでなく台風、竜巻による被災時も地震と同じです。どちらの場合でも二次的な被害として長時間の停電が懸念されます。

「MFCは通電してこそ動作する、停電したら全く機能していない」ということを忘れないでくださいね。

 

それでは復旧が進んだ状況=少なくとも配管のリークチャックが完了していることを前提で、簡単なMFCのチェック方法をお話ししましょう。

 

MFC本体のダメージを確認する方法

MFC、特に内蔵している流量制御バルブは精密な構造です。大きな揺れで密かに一番ダメージを受けやすい箇所でもあります。復旧が進み、MFC周辺のリークがないことが確認され、ガスが再投入される際に、もし可能ならばMFCF.S.0%と100%の信号を入れてみてください。(MFCを搭載した装置自体の復旧、再起動プロセスに対して問題がないかは必ず個々に確認してください)

 

0%設定でちゃんとガス流量表示は0になりましたか?

0にならなかったら、ガス供給圧が復旧前よりかなり高くなっているか?またはMFCのバルブが衝撃で変位してしまい、締め切りが悪くなり出流れが生じている可能性があります。

 

F.S.100%設定でちゃんと100%の表示が出ましたか?

流量がいつまでもF.S.100%に達しない場合は、ガス供給圧が復旧前よりかなり低くなっているか?または衝撃でMFCのバルブのリフト量が衝撃で小さくなってしまっている可能性があります。

 

 それぞれの症状が確認された場合、ガス供給圧力表示でMFCへの供給圧を再確認し、事前と変化がないようでしたら、MFCに不具合が生じている可能性があります。一度メーカーさんで点検してもらった方がいいかと思います。ここで復旧を急ぐからと言って、MFCの不具合確認、修理点検を自前で行なう事は避けてください。バルブ・オリフィスのギャップは微細なものですので、一度衝撃で不具合が生じた場合は、とても現場で修理できるものではありませんから。

 

 MFCの一番振動に弱い箇所をチェックするだけでも、復旧後のMFC動作不良によるプロセス再停止を事前に避けることができます。

 

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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