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2013年7月 3日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第81夜 MFC用電源の形態  電源一体型

MFC(マスフローコントローラー)の周辺機器として電源のお話をしてきましたが、具体的にはどんなタイプがあるのか?ご紹介していきましょう。

 MFCを動かすのに最低限必要な機器は電源だけではありません。アナログ通信でMFCを動かす場合は、電源・流量表示器・流量設定器が最低限必要になります。電源とは、MFC専用の多くの場合±15VDC電源ですね?流量表示器とは、MFCの流量出力信号05VDCを読みやすい流量値もしくは%表示で表してくれる機器です。

流量設定機とはMFCへ流量設定信号05VDCを送る機器です。簡単なものでしたら、いわゆるボリュームタイプの可変抵抗器に5Vを供給して、抵抗を求めている値に設定することで設定電圧を造る方法があります。これらの機器をどう組み合わせるか?によって色んな周辺機器があります。

 大きく分けると電源一体型か?分離型か?で括れます。まずは電源一体型のご説明から始めましょう。これは3つが1つになっている優れものです。以下の図でMFCとの接続と役割をご説明しましょう。基本的にMFCとは一対一で接続されます。

130701_02

 ユーアイニクスさんのMFC制御ユニットSP-832を例にとってご説明するとこのようなパネル構成となっているのが一般的です。

130701_01 中には設定値は数値をダイレクトに“100.0”という形でプリセットする温調器的な使い方ができるものもありますし、設定値を記憶することができる機器もあります。

 好みの問題ですが、年配の方はボリューム式、若い方はプリセット式・・・と言うわけでもなく、むしろMFCの流量を可変させながら実験を行う研究用途で使う試験装置ではボリューム式、ほぼ固定で使用する生産用途で使う製造装置ではプリセット式という特性での使い分けが多いかもしれません。Deco自身はどっちも好きですが、条件出しで微調整するにはボリューム式がいいですね。

 一体型の利点は、MFCとの接続が簡単であることです。今からMFC初心者の方には入門機としてお薦めですね。次回は電源分離型のご説明です。

 

*今回のブログ記事に関して、ユーアイニクス株式会社殿のご厚意からご協力を頂きました。改めて御礼申し上げます。なお、文中のSP-832に関する詳しい仕様はこちらを参照下さい。

 

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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