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2013年7月 1日 (月)

真・MFC千夜一夜物語 第79夜 MFCが変わり者になってしまった理由は・・・

MFC(マスフローコントローラー)が±15VDCという風変わりな電源規格を使い続けている理由は・・・というお話です。

 

実はDecoも本当の理由を知りません! ごめんなさい!

( ドテッっとこけないでくださいね。)

ただ、仮説はあります。これはDecoも教えてもらった話なのですが・・

「MFCのセンサー部分が、二対のヒーターで構成され、それがブリッジ回路を構成している。」というお話はこれまでに何度もさせていただいているかと思います。「四半世紀以上前、MFCが生まれた時代には、ブリッジ回路を作る上でバランスを取りやすい±電源で、MFCに基板上に置けるサイズの部品が無く、やむなく外部に置く電源から±15VDCを供給した。」と、Decoは複数の古参の技術屋さん達から教わってきました。確かに頷ける話です。

「でも、昔のことはいいとして、なんでこれだけ電子部品が進化し小型化した現在に至ってもそんな仕様のままなのはなぜ?」という問いかけがあったとしたら、その答にはなっていませんね・・・

 

ここからはDecoの持論です。

実は技術的な問題ではなく、マーケッティング的要素が強かったからなのではないのでしょうか?以前、MFCの主要な顧客は半導体製造装置メーカーさんだというお話をしました。そして製造装置に組み込まれたMFCが使用されるのは、半導体製造工場です。半導体は日進月歩のハイテク技術産業であり、常に新しい技術が切磋琢磨されている・・・のですが、こと製造手法となると、逆に非常に保守的な世界なのです。

 

Copy exactly(コピー イグザクトリー)とういう有名な半導体メーカー「インテル」が提唱する半導体製造に関する言葉があります。「マイクロプロセッサ製造は、開発段階で使用した製造装置、その部品を含む全ての設備、製造プロセスはもちろんのこと、納入業者や物流のプロセスまでも、量産工場にそのままコピーして展開する。」という考え方です。(こういった考え方は、実は日本の家電などの民生機器の世界では無い考え方で、むしろカタログなどに「予告無き仕様変更」があり得ることを謳っていた時代もありました。)

そんな半導体の世界では、なかなか途中で思い切って電源の規格を変更するは難しいことで、ある一社だけが、「うちは24VDCです!」と言い出しても、今まで±15VDCのMFCを使ってきたお客さんには受け入れられません。そんな流れが続いたために、MFCの電源は開発された当初の流れのまま±15VDCでここまで来てしまった・・・のかもしれません。そんな古くからの規格は電源だけにとどまらず、MFCの至る所に残っています。


ただ、ここにきてDevice NetTM通信規格をガス制御系に搭載した製造装置が300mmウエハー製造ラインでは採用されてきました。この通信規格では、電源規格が24VDCに統一されていますので、MFCも24VDC駆動となったモデルが使用されています。MFCの総需要の8割近い半導体関連業界での電源規格が24VDCになっていくと、この先±15VDCのMFCとの比率に変化訪れるかもしれませんが、半導体製造業の失速もあり、どうなるかは混沌としていそうです。

 

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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