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2013年6月24日 (月)

真・MFC千夜一夜物語 第74夜 エラストマーシールMFCを扱う時は・・・

MFC(マスフローコントローラー)のエラストマーシールに関するまとめです。

簡単にエラストマーと言っても色々あり、注意を怠るとDecoの経験した怪事件のように大変なトラブルを招きかねません。流体とシール材質のマッチングは大変重要な要素になりますね。

前にも少し触れましたが、MFCを使用される現場でたまに見かける光景として、エラストマーシールMFCの継手をユーザーで交換されるケースがあります。確かにスパナやモンキーさえあれば、簡単に継ぎ手を外せるのがエラストマーシールタイプMFCの特長です。

MFCのボディには例えば9/16-18UNF の雌ねじが切ってあり、そこに市販の雄ネジをねじ込めばすぐ交換できます。研究室などで1台のMFCを新旧複数の実験ラインへ流用されることもあるかと思います。その際に「わざわざメーカーに交換を依頼しなくても、DIY的に・・・」と考えられるのはわかりますが、ちょっと待ってください!

MFCメーカーでは出荷前に必ずHeリークディテクター等でリーク試験を行っています。中には組み立て時に1回、出荷前の検査でも1回と念には念をいれているところもあります。これはMFCからのガスリークがどれだけ深刻な問題を引き起こすかを、メーカーは自覚しているからです。

継手を交換される際に石けん水でのリークテストをされたら良い方で、Heリーク試験までされる方は少ないのではないでしょうか?石けん水はあくまでガスの加圧供給状態でのリークを見ていることを忘れないでください。

適正な締め付けと検査が行われていない状態で、SiH4ガスラインでMFCが減圧状態で大気を引き込んでしまったら・・・大変なことです。また、例え加圧状態でもそもそも水素のような小さな軽いガスの微細なリークはよく観察していない判別しにくいものです。

もちろんそういった「ユーザーでの改造」を施した製品の改造箇所での不具合は、原則メーカーからは何の保証も受けられないことも、改めて認識いただく必要があります。

気軽に使用されるエラストマーシールのMFCですが、以下の事に注意しましょう。

・使用するガス(流体)、用途を明確にし、適切なシール材をメーカーに選定してもらう

・使用するガスの物性がよくわからない場合は、無難なメタルシールを使用した方がよい

・エラストマーシールのリーク性能はメタルシールタイプと比べると、低いので過信しない

・継手交換等MFCのリーク性能に関わる改造作業は、ユーザーで行わずメーカーに依頼する

・配管脱着時は必ずMFC側継手も固定し、“共回り“でMFC取付部分が緩まないよう注意する

 

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皆さん、たかがシール材に関してですが、MFCの選定と使用時には気を使ってあげてくださいね。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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