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2013年6月20日 (木)

真・MFC千夜一夜物語 第72夜 火を噴くマスフロー事件<前編>

MFC(マスフローコントローラー)のOリングに関するお話です。
今回はDecoの経験した「MFC夏の怪談」とでも言うべき内容になります。

15年程前の話ですので、もう時効かな?と思いますので、ここで披露させて頂いても良いかと・・・
当時の関係者の方々には、後進への警鐘の一例として笑ってお許し下さい。 

 ある時、とあるお客さんに販売したMFCが突然流量制御不能で全開状態になり、流していた燃焼ガスの流量過多によりバーナーからは大きな炎が!!という、一歩間違えば操作した方が大やけど負うかもしれない危険な事件が派生しました。それも1件や2件ではなく・・・

現品を回収して調べてみると、MFCの流量センサー管の圧力損失が出荷時より明らかに大きくなり、何かが詰まってしまっているようです。センサーがこの状態でなぜMFCの制御流量が全開になるか?この物語をずっとお読み頂いている方々には、おわかりになるかと思います。

 センサーが詰まって流れにくい、ほとんど流れない状態になるということは、センサー出力値はそうなる前より極端に低下することになります。
ここでMFCの制御系は、センサーからの流量信号<設定流量信号という状態に陥った=流すべきガス流量が減少したと考え、流量信号=設定信号という状態を回復すべく流量制御バルブを開く方向に制御します。
ところが、詰まっているセンサーの出力はいっこうに増えていかないため、結果としてバルブは全開になってしまうのです。
不幸なことに、この時MFCに流れ込んでくるガスはセンサーとバイパス(層流素子)に分流されているわけですから、センサーには流れて無くてもバイパスには流れています。結果、全開になったバルブからバイパスを通じた大量のガスが流れ出ることになった訳です。

 では、なぜそんな事が発生するのか?Decoには全く原因がわかりませんでした。

異物の混入というのが良くある事なのですが、その異物の正体がつかめません。
MFCのセンサー管を切断して断面を調べても何も見つかりません。
しかも、その現象は1回でなく、前述のごとく複数のMFCでしかもそれぞれが異なる場所で発生するのです。
いくら考えても原因不明で、眠れない日々が続き、Decoを始めスタッフは全員夏の暑さもあり疲労困憊してしまいました。
でも不思議なことに、この事件は秋になるとピタッと収まってしまったのです・・・

ところが翌年の夏。
またこの現象が各地で発生し始めたのです!しかも、夏休みなどでMFCを搭載した設備を休ませておいて、また運転を再開したときに限って・・・果たしてこの事件の真犯人は?

迷探偵Decoはこの怪事件を解決できたのでしょうか?
もう帝都大学湯川准教授の研究室に相談に行きたい気分ですよね?

次回に続きます。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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