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2013年6月12日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第68夜 シールは樹脂系か?金属系か?

  前回はMFC(マスフローコントローラー)のリークポイント=シールポイントというお話をさせていただきました。

MFCのボディ、継手、センサー、バルブアクチュエータ この4パーツ各々の接続部分をシールしている材料があります。皆さんの家の水道でも、ゴム製のパッキンやOリングなどのシール材を使っているのを、日曜大工DIYされる方なら見たことがおありかもしれません。水道の場合、液体の漏れ止めですが、MFCの場合相手はガス=気体ですから小さいくて、更に漏れやすいものです。金属面同士をいくらネジで締め付けても、漏れてしまいます。漏れては困りますから、漏れ止めとなるシール材を間に挟みこませる必要があるのですね。

 このシール材ですが、MFCの場合、大きく分けると2種類あります。

樹脂系の「ラバーシール(エラストマーシール)」と金属系の「メタルシール」です。

【注意】この2種類のMFCを見分けるのにコツが必要でして、正直見慣れない方が見分けようとしても難しいと思います。なぜならシール材というのはMFCのリークポイントに配置されるので、外部に露出しているわけではないからです。また、MFCの銘板、シールにもそのMFCのシール種が明記されることはほとんどありません。 例えば型式に樹脂系シールモデルは****Rとか、金属系は****MCとか入ることもありますが、必ずしも型式に反映されているわけでもないモデルもあります。在庫品、長期放置したMFCを使用される際は、ガス種に適応したシール材を使っているか?必ず確認してください。自信が無い場合は、型式、S/Nでメーカーに問い合わせをされると良いと思います。

樹脂系の「ラバーシール(エラストマーシール)」は、シール材としては、流量計、圧力計等、流体関連機器でもポピュラーなものです。多くの業界ではこのシールタイプが使用されています。原則的にはネジのエンドポイントに配置するOリング的な使用法と、平滑なフランジ面で挟み込むパッキン的な使い方になります。非常に多様な材質がありまして、それぞれに強み弱みがありますので、よく理解してご使用いただく必要があります。

 「メタルシール」は、金属系のシール材を磨き上げられた平滑な金属フランジ面に挟み込み、潰しこむ、もしくはフランジ面に食い込ませる形でシールするもので、半導体用の高純度供給ラインに多く使用されるシールです。樹脂系のシールよりも高い漏れ止め性能が期待できます。ただ、部品加工精度を求められるのと、組立難易度が高い傾向があり、メタルシールされた製品は高価な傾向があります。

 各シールに関する詳細のお話は次回以降させていただきます。まずは樹脂系シールに試用される各材質です。先ほどお話しましたように、ラバーと言っても決して1種類ではありませんから、ご注意下さいね。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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