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2013年5月27日 (月)

真・MFC千夜一夜物語 第56夜 MFCのゼロ点は、なぜずれる?

今回からMFC(マスフローコントローラー)にとってある意味一番大きな問題である「ゼロ点ずれ」の問題を解説していきます。

ゼロ点がずれる事は、ただゼロがシフトしているだけではなく、MFCが制御する流量に影響を及ぼすことをお話してきました。見た目は 設定信号=流量信号となり、問題はなく、正常に制御できているはずのMFCに流量異常が生じているという事態は、非常に厄介なものです。

 ゼロ点ズレに関して以下の原因が考えられています。

 センサー線の抵抗値変化
MFCの流量センサーに使用されている二対の巻線の抵抗値バランスが崩れてしまっている


 
ガスの熱対流現象
MFCのセンサー管内部、もしくはセンサーとバイパス部で熱対流現象が発生し、あたかもガスが流れているように表示されている。(ガス特性に大きく依存)


 
流量制御バルブでの出流れ
MFCの流量制御バルブの前後に圧力差があり、制御バルブ閉状態でもわずかにガスが漏れ出している状態を流量センサーが感知している


 
誤調整
MFCのゼロ点調整ボリュームを調整する際に、誤って正確なゼロ値に調整できていない


 
設置環境要因の変化
MFCの設置場所の環境(温度、湿度)が変化している

 
その他 外部要因
MFCの流量表示計のゼロ点ズレや電送系でのノイズ影響、通信異常等の外的要因が存在する

一言に「ゼロ点ズレ」と言いましても、想定される原因は様々であり、当然その対策も変わってきます。早とちりして行った間違った対策は、事態を更に悪化させる可能性もありますので、MFCの構造と周辺機器に関する一歩踏み込んだ理解が必要です。そして、もう一言付け加えるなら「万能なものはどこにも無い」という事なのです。

それぞれの原因とその犯人捜しを始めたいと思いますが、かなり長くなるのでその前に、次回はゼロ点がずれた場合の対応策を先にご説明いたします。

 【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

 

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