最近のトラックバック

無料ブログはココログ

« 真・MFC千夜一夜物語 第53夜 ガスサージの防止方法 その1 | トップページ | 真・MFC千夜一夜物語 第55夜 ガスサージの防止方法 その3 »

2013年5月22日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第54夜 ガスサージの防止方法 その2

MFC(マスフローコントローラー)の流量制御バルブが全開待機することで発生するガスサージの防止方法2回目です。

前回、ご紹介したようなバルブ強制開閉スイッチをもった周辺機器や制御パネルが無い場合は、一度プロにご相談くださいというお願いをしました。

「なぜそこまでDecoさん慎重になっているの?電気配線くらいできるよ!」とおっしゃる方も多くおいでかと思います。

ところが、このバルブ強制開閉機能に関しては、細心の注意が必要でして、お使いのMFCのメーカー、そして同じメーカーでも年代、型式によりこの機能の有無や、制御方法(強制開閉機能を司るMFC側のコネクタ形状やピン配列、そして電気信号の取り合い)が異なるからなのです。

コネクタ形状、ピン配列はメーカーで色々とあるのは仕方ないと思いますが、問題は電気信号の取り合い自体です。代表的な仕様は以下になります。

  バルブ開閉用ピンに+15Vを入力したら開、-15Vを入力すると閉

(ただし一部逆の仕様のメーカー製品あり) 

 バルブ開閉ピンとコモンを短絡して開、-15Vと短絡して閉

(これにも逆の仕様あり)

今でこそMFCも電気コネクタやピンアサインが整合されてきたイメージがありますが(ただ単にメーカー、型式が少なくなったとも言います)、過去のMFCは取り合いに関して共通仕様化が全く進んでおらず、各メーカーで個々に仕様設定をやっていた歴史もあり、またあるメーカー1つをとっても時代の推移や設計者が変わったり、ある時期で業界の多数派にあわせたり・・・という変遷もありました。

これらを正確に把握してシステムの改造を行うには、まずMFCメーカーさんとの強いパイプを持ったエンジニアさんでないと過去の経緯を確認した上で最適な改造を行うのは難しいでしょう。実際、メーカー側も企業統合の果てに旧式製品に関する仕様の記録などが失われてきているので、営業サービス拠点ではすぐには確認できないようなケースが発生しかねません。

 さて、バルブ強制閉機能を使用したガスサージ防止の具体的な方法です。

要は簡単。ガスを流さないときは、必ず強制閉スイッチでMFCの流量制御バルブを全閉にしてしまえばいいのです。

*プロセスによりますが、MFCと上下流の遮断弁との間のボリュームにガスが残らないような順番でバルブを閉めていく必要がありますので、ご注意ください。

この状態からのガス導入は、以下の流れです。

 MFCに流量設定信号を入力する

 ガスラインの上流バルブを開け、ガスをMFC手前まで導入する(MFC下流のバルブも開)

 MFCの強制閉モードを解除し、流量制御を開始す

ここで重要なのは、②と③の手順を間違わないことです。③→②でやってしまうと、MFCのバルブが全開になってしまい全く意味がありません。

次回はガスサージを防ぐもう1つの方法のご説明です。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

« 真・MFC千夜一夜物語 第53夜 ガスサージの防止方法 その1 | トップページ | 真・MFC千夜一夜物語 第55夜 ガスサージの防止方法 その3 »

真・MFC千夜一夜物語(第1期)」カテゴリの記事

コメント

コメントを書く

(ウェブ上には掲載しません)

トラックバック

この記事のトラックバックURL:
http://app.cocolog-nifty.com/t/trackback/592191/57435214

この記事へのトラックバック一覧です: 真・MFC千夜一夜物語 第54夜 ガスサージの防止方法 その2:

« 真・MFC千夜一夜物語 第53夜 ガスサージの防止方法 その1 | トップページ | 真・MFC千夜一夜物語 第55夜 ガスサージの防止方法 その3 »

最近の写真

  • 170622_salestraining3
  • 170622_salestraining2
  • 170622_salestraining5
  • 170622_salestraining4
  • Bronkhorst_mfc
  • 170613_01_2
  • Mini_coriflow_m
  • 161205_02
  • Sli03
  • Sli01_2
  • 170529_03_2
  • 170529_02_2