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2013年5月22日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第53夜 ガスサージの防止方法 その1

 MFC(マスフローコントローラー)のゼロ点がマイナスにずれた場合に、流量制御バルブは最大開度=全開で待機してしまい、次にガスを流し出した時に、大量のガスが流れるサージ現象が起きてしまう・・・これはガスによっては大変危険なモードです。今回はこの問題への対策のお話です。要はガスを止めた際に、MFCの流量制御バルブが全開方向へいかせないようにするのが対策の肝です。

この対策としては2つあります。1つはMFCのバルブ強制閉機能を使う方法です。

たいていのMFCには、制御中でも流量設定信号による制御を無視して、流量制御バルブを強制的に開閉する機能が搭載されています。

このバルブ強制開閉機能は、それぞれ以下の用途で使用されます。

強制開機能=MFC内部のガスパージ、真空引き時の流路開放

強制閉機能=オーバーシュート防止、緊急時のガスライン閉止

殆どのMFCでは強制開閉機能を働かせるスイッチがどこかについているわけではありません。本来MFCは流量を遠隔制御するものですので、流量設定と一緒で、なんらかの電気信号をMFCへ送ることでこの機能を作動させる仕組みとなっています。MFCの電気接続用コネクタのいずれかのピン端子にその信号を受ける場所があるのです。

お手元の配管システムで、既にそこにスイッチと配線がしてあり、操作盤に開閉スイッチが設けられている場合や、またはメーカーさんやMFC周辺機器メーカーさんで提供されているMFC専用表示設定電源ユニットなら、この機能用のスイッチが装備されている場合もあります。

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問題は今まで、そういったスイッチ類が全く設置されていない状況でMFCを使用されている場合です。

その際はまず「プロ」にご相談頂いた方がよいかと思います。現在使用中のガス供給系の製造元、もしくはMFCから装置まで取り扱っておられる信頼できるエンジニアリング会社さんにご相談ください。Decoにご相談頂ければ,信頼できる方々をご紹介しますので。

 

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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