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2013年5月20日 (月)

真・MFC千夜一夜物語 第52夜 ゼロ点のマイナス表示は要注意?

MFC(マスフローコントローラー)の流量が勝手にずれてしまう現象が発生してしまうゼロ点ズレ問題ですが、更にやっかいな事が発生します。

それはゼロ点がマイナスにずれた場合です。マイナスにずれる・・・と言っても、本来ガスが逆流でもしない限り、センサーの出力(流量)が0以下になるはずはありませんので、マイナスの表示自体、本来センサーが正常ならあまりお目にかからない事態です。

*実はガスの流れは止まっていても、MFCのセンサー管とバイパスを通じてガスが対流したりして、ゼロ点がずれる現象はあります。これ自体は不具合という訳ではありません。この現象のお話は、また別の機会に・・・

MFCは設定入力=流量出力になるようにバルブの開度を調整しようとします。ここでガスは閉止状態、MFCの設定入力=0、流量出力がマイナス(=ゼロ点がマイナスへシフト)状態になったらどうなるでしょう?

単純比較で0>マイナスですから、設定入力>流量出力と判断したMFCは「もっとバルブを開けよう!」とします。でも、もともとガスラインは閉止されているのですから、いくらバルブを開けても、ガスは流れて来ませんので、流量出力はずっとマイナスのままです。そうするとMFCのバルブはどんどん開いて最大開度=全開で待機になります。

そんな状態で改めてガスを流すと大変なことが起こるのは、前にもお話ししたかと思います。ガスの流れを感知してMFCのバルブは全開状態から制御に入りますが、制御に入ってバルブを閉じていくのと、実際のガスの流れにはタイムラグがあるので、既に大量のガスが全開状態のバルブを通り過ぎて流れていってしまった後になってしまうのです。

Zero_point2

                       

これこそ後の祭りですね・・・MFCを思うように制御できなくなること=ガスが制御できなくなることですから、ガスによっては大変危険な状態になる可能性があります。

ただ単に、「ゼロ点がマイナスの表示をしているなぁ・・」だけではなく、その事がMFCの流量制御にどういった影響を及ぼすのか?ご理解いただいているに越したことは無いと思います。どんなすごい機械でも、その特性を理解して人が制御して初めてこそ本当の力を発揮するものですから・・・さて、次回はこの困った現象に対する対策です。それではまた。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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