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2013年5月20日 (月)

真・MFC千夜一夜物語 第51夜 ゼロ点がずれると流量が狂う?

MFC(マスフローコントローラー)のゼロ点ズレのお話ですが、ことMFCにとってこれは一大事であります。恐ろしいことにMFCの設定信号と流量出力が一致していて、正常に動作しているように見えるにもかかわらず、実際は制御流量がずれてしまう、という異常状態が発生する・・・推理小説の完全犯罪のような恐ろしい厄介な出来事ですね!この現象をもう少し具体的にお話しましょう。

例えばフルスケール100SCCMMFCに設定5V(100%)を与えて100SCCMの流量を制御させていたとします。ここでMFCのゼロ点を-5%-5SCCMにずらすと、流量の基点となる0SCCMを表すポイント=ゼロ点がずれたのに対して、MFCの設定電圧は5V100%)=100SCCMから変わらないわけですから、当然のように変わらず設定電圧5V=流量出力電圧5Vになるように制御を続けます。この結果、100SCCM-(-5SCCM)105SCCMの流量が流れてしまうことになります。

*これはもう少し難しい背景があり、「ガス停止時のゼロ点ズレ量=ガス流入時のゼロ点ズレ量?」という検証課題を残していますが、ここではひとまず観念的に捉えて頂きたいので省きます。

Zero_point1

                       

本来は100SCCM流しているはずのMFCが、知らない間に105SCCM勝手に流してしまう・・・「精度±1%F.S.ならば99101SCCMの間にMFCの流量はあるよね!」と思っていたら、それどころでは無い、とんでもないズレ量ですね? しかも、ガスを流さない状態でチェックしない限り、ゼロ点がずれていることはわからないわけですから、余計に厄介です。

知らないうちに流量がずれる!これだけでも大問題なのに、ゼロ点がずれることによる問題は、更に別のやっかいな問題も引き起こします。次回はそのお話しです。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

 

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