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2013年5月16日 (木)

真・MFC千夜一夜物語 第50夜 ゼロ点のズレは大問題?

MFC(マスフローコントローラー)で一番やっかいな問題はゼロ点ズレです。前回、「微少流量タイプは通常タイプよりゼロ点ズレが5倍大きい」というようなお話をしましたが、その実害に関して今日はお話しましょう。

MFCのゼロ点とは「ガスを完全閉止して流さない状態での流量出力値」のことであり、制御される流量が0ならば、当然ゼロ点も0になるべきものです。当たり前ですね?

ところが様々な原因で実際の流量は0なのに、出力は0にならない現象が発生します。これらは「ゼロ点シフト」「ゼロ点ズレ」「ゼロ点ドリフト」という言葉で表されますので、お聞きになられた方もおられると思います。

これがMFCの性能に及ぼす現象を図にまとめて見ますと、以下になります。

Zero_point

                       

もちろんMFC以外でも、色んな機器でゼロ点のズレは問題になります。特に計測機器では慎重に対応されています。MFCの場合は、更に問題として「ゼロ点のずれた状態の流量センサーから出力される流量信号によって、流体を制御してしまうこと」にあります。

そして一番タチが悪いのは「MFCが通常に制御している状態では、ゼロ点ズレが原因で制御されている実流量に影響が出ていても、それを検知することができない。」ということなのです。

設定信号と流量出力が一致しているにもかかわらず、制御しているガスの流量が密かにずれてしまっているという状態が発生する・・・これはMFCの本来の特性である「ある程度の温度、圧力変動が生じても一定の流量を制御する」が密かに破綻してしまっているということですから、大変恐ろしいですね。

 

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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