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2013年4月 1日 (月)

真・MFC千夜一夜物語 第27夜 MFCは色んな用途で使われているのです

MFC(マスフローコントローラ)の用途に関してお話の2回目です。

先日お話した半導体も含めて、ざっと上げてみましょう。

 半導体製造

 液晶/PDP/有機EL製造

 LED製造

 ディスクメディア(CDDVDHDD)製造

 環境(ガス製造、排ガス処理)

 分析(ICP-MASS、原子吸光、ガスクロマトグラフ・・・)

 エネルギー(原子力発電、燃料電池、太陽電池・・・)

 宇宙開発

 燃焼(炉、バーナー、溶接)

 真空蒸着、スパッタ

 コーティング、研磨(レンズ、ミラーの保護)

 工具(超硬工具)

 医療、製薬

 

結構色々とあって、驚かれましたか?

実は産業ガスを使用する用途では、ほとんどといっていいほど、MFCは使用される可能性があるのです。

当然、他の形式の流量計、例えばガラス管に球が浮くフロート式流量計が用いられている場合や、流量ではなく圧力で管理するパターンもありますので、必ず上記用途でMFCが使用されているか?といえば100%そうではありません。コスト面から、MFCを搭載していた機器が、ローコストな他の方式に設計変更されることもあります。

 

これらの用途で、前回お話しした半導体関連以外に使用されるMFCは、多種多様にありまして、流量がF.S.1SCCMの微少流量から1000SLM以上の大流量、圧力も高圧から低圧、大気圧、真空の領域まで、ガス種も一般的な不活性ガスから、特殊高圧ガスまで様々です。

特に流量レンジは、半導体用のMAX50200SLM程度なのに対して、1000SLMを軽く越えていたりします。こういった大流量用のMFCは基本原理こそ今までご説明してきた「熱式流量センサー」「制御バルブ」の組み合わせですが、その応用編、大流量用特殊構造といった成り立ちになります。

 こういった大流量用のMFCに関してのお話をさせて頂くに際しては、今までご説明していなかった「層流素子(バイパス)」という流量センサーの補器ともいえる部分の構造に関するお話も並行してご説明させて頂こうと思います。

 【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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