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2013年2月18日 (月)

真・MFC千夜一夜物語 第7夜 流量計には色んな種類があるのです

MFC(マスフローコントローラー)出生の疑惑。果たしてMFCはその名前に違い「質量流量計」ではないのか?というお話に入ります。

 今回は「流量計」とは何?どういうものがあるの?というところを、簡単にお話しておきましょう。

そもそも流量を測定する機器・装置を「流量計」と呼びます。

大きく分類すると以下の種類になります。


容積式流量計

管路の歯車の回転数で流量を測定する


フロート型流量計

=テーパー管に浮子(フロート)をいれて、その断面から見た浮子とテーパー管のすきまに生じる圧力差と浮子の重さが釣り合う位置で流量を測定する


差圧式流量計

=配管の途中にオリフィス(中央に穴の開いた板)やしぼり(ベンチュリー)、層流管を設けて、その前後の圧力差を利用して流量を測定する


カルマン渦流量計

=流路にある障害物の後方に生じるカルマン渦の発生周期が、流量により変わることを利用して流量を測定する


タービン流量計

=流れによって回転するタービン(翼車)を利用して流量を測定する


超音波流量計

超音波の伝播時間やドップラー効果を利用して、管路外から非接触で流量を測定する


電磁流量計

電磁誘導を利用するため電気を伝導する液体に限定して、管路外から非接触で流量を測定する


熱線式流量計

=管路に電熱線を設置し、流体によって奪われる熱量が流量に比例することを利用して流量を測定する


コリオリ式流量計

=コリオリ力を利用して、管路のチューブを振動させた際に発生する捻れを利用して流量を測定する


ふう・・・色々ありますね・・・

まだまだ、ここに記載しきれていない方式もあると思いますが、一般的な流量計と呼ばれるものはこういった種類のものがありまして、用途に応じて使用されています。

 

これらの中で「質量流量計」に分類されるのは、熱線式とコリオリ式です。その他は「体積流量計です。

そして、MFCの搭載する流量センサーは熱線式流量計に当たります。

では、この2つはどう異なるのでしょうか?

「体積流量」を測定するものが「体積流量計」、「質量流量」が「質量流量計」と言ってしまえば簡単ですが、次回はこの両者の差をもう少し具体的にお話しします。

 【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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