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2013年2月12日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第5夜 MFCを巡る質量と体積の三角関係 Part3

今回は「質量流量」のお話です。

 「質量流量」は、「質量という物質の不変的性質で表した流量」なのですから、体積流量のような基準、標準状態で括る必要が無く常に一定です。流量単位としてはkg/sを用い、g/min等も用いられます。

・・・用いられます・・・って、実はDeco自身は使ったことが無いのですよ・・・

 

「でも、Mass Flow Controllerはその名の通り「質量流量」制御器なのだから、MFC生活25年?のDecoさんが、なぜ使ったことなの?何を使っているの?」というツッコミが当然あると思います。

 

では、ここでMFCを作っている各メーカーのカタログを見てみましょう。(あっ、逃げた)

ここで使用されている流量単位はSCCMSLM・・・とあります。

 

「あれ?どこにもkg/sなんて書いてないですよ。そもそもSCCMっていったい何なの??」

 

はい、ご説明しましょう。

SCCM とは Standard cc/minの略です。同じくSLMは Standard L/min の事ですね。

このStandardというのは、標準状態という意味で使われています。

もっともMFCが使用されている半導体製造分野の場合、このSが表すスタンダードは0 1013hPa状態を表します。つまり温度:0 気圧:1013hPaで定義した体積流量の単位ということになります。

ただ、このSCCMSLMという単位は、なんらかの公的な単位体系にあるものではありません。よってSI表示単位という観点から見ると、この表記は使用できない事になります。SI単位で表現する場合はPam3/sec などで表する必要があります。

 

Standard cc/minPam3/sec?あれ?これって体積流量の単位だよね・・・

しかも・・・良く読むとスタンダード:0って、スタンダードは20だってDecoさんは前回説明しているじゃないか!」という再度のツッコミが来そうですね。

 

そうなのです。

Mass Flow Controllerと名乗っているのに、使っている流量単位は、Mass=質量ではなく体積流量!

しかも体積流量にとって肝心な温度定義がスタンダードと異なるの?

どうなっているの!あなたがつき合っているのは「質量」なの?「体積」なの?「0」なの?「20」なの?」

 

連載5回目で、MFC君、いきなりの修羅場ですね。

怖いですねぇ。恐ろしいですねぇ。 続きは次回です。それではさよなら、さよなら、さよなら・・・

 【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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