最近のトラックバック

無料ブログはココログ

« 真・MFC千夜一夜物語 第10夜 力持ちなガスもあれば・・・ | トップページ | 真・MFC千夜一夜物語 第12夜 混合ガスのコンバージョンファクター »

2013年2月25日 (月)

真・MFC千夜一夜物語 第11夜 コンバージョンファクターは何をコンバート(変換)しているの?

MFC(マスフローコントローラ)で使われるコンバージョンファクター(略してCF)に関するお話です。

結構難しい・・・訳ではなく、話は単純です。

前回お話しした「ガスが熱を運ぶ能力には、ガス種によって差があり、それを利用すれば奪われた熱量からガスが流れた量がわかる。」という特性のことで、ガスの種類によって、力持ちなLさん、華奢なSさん、標準体型なMさん、それぞれの熱を運ぶ能力を表した値がCFなのです。

MFCの世界ではCFでは、標準体型のMさんをN2(窒素)ガスにしています。

N2をCF=1.00として、その他のガスはこれをセンター値にして 1.40くらいから0.1以下まで分布しています。 

CFが1.00より大きなガスの代表例はHe(ヘリウム)、Ar(アルゴン)、Kr(クリプトン)、Xe(キセノン)のような単原子ガスが見られます。

N2に近いのはO2(酸素) H2(水素) F2 (フッ素)等です。

逆に小さいもの、特に0.5以下となるとSF6 WF6 SiCl4 等ですね。

ガスを少しご存じの方でしたら、なんとなく華奢な軽量級と力持ち重量級にわかれているな~と思われるでしょうね。一部例外はありますが、その通りです。

 CFの説明は、各メーカーさんのHP、カタログ、取扱説明書にあるかと思います。でも、その観念だけで記憶していると、たまに混同してしまうことがあります。

例えば「N2用のMFCHeを流したら流量はどうなるの?」なんて質問を受けた場合です。

Decoもよくぼけて逆に考えてしまい、ベテランの技術屋さんに怒られたことがあります。 そこで、以下の実例で憶えた方がいいかもしれません。

N2用に作られたMFCがあったとします。そのMFCにHeを流したとしたら、実際流れる流量はN2より多く流れます。その流量は、MFCの表示器で示めされている流量×(HeCF÷N2CF)で求められます。HeのCFは各メーカーで微妙に異なりますが、だいたい1.4から、N2より1.4倍多く流れるということですね。

 この逆の場合、HeのMFCにN2を流せば、実際流れる流量は約1÷1.4=約0.71になり、3割ほど少なく流れます。Heは軽くて流れやすい気体ですから、He用のMFCは「流れにくい」ように調整されているのですね!

 こういった具体的な事例を頭に入れておくと、N2Heが別のガスになっても、置き換えて考えればいいので便利ですよ。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

« 真・MFC千夜一夜物語 第10夜 力持ちなガスもあれば・・・ | トップページ | 真・MFC千夜一夜物語 第12夜 混合ガスのコンバージョンファクター »

真・MFC千夜一夜物語(第1期)」カテゴリの記事

コメント

コメントを書く

(ウェブ上には掲載しません)

トラックバック

この記事のトラックバックURL:
http://app.cocolog-nifty.com/t/trackback/592191/56838250

この記事へのトラックバック一覧です: 真・MFC千夜一夜物語 第11夜 コンバージョンファクターは何をコンバート(変換)しているの?:

« 真・MFC千夜一夜物語 第10夜 力持ちなガスもあれば・・・ | トップページ | 真・MFC千夜一夜物語 第12夜 混合ガスのコンバージョンファクター »

最近の写真

  • 171015_02
  • 171015_01
  • 171010_01_4
  • 171010_03_2
  • 171010_02
  • Bronkhorst15_2
  • 171003_05_2
  • 171003_03_2
  • 171003_04_2
  • 171003_01
  • Mini_coriflow_m_2
  • 170918_01