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2018年7月31日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第256話 マスフローに防爆仕様は存在するの? その3

もう一つのMFC千夜一夜物語が掲載されている日本工業出版さんの「計測技術」誌 2018年8月号(7/25発売)は、特集記事のボリューム増で連載休載=夏休みとなっております。
9月号からの再開をお待ちくださいね。
防爆に関してのご説明の続きです。
1種危険場所に対応できるのは、本質安全、耐圧、内圧の3種の防爆構造です。
各種防爆構造に関しては、下図でご確認ください。

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2018年7月24日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第255話 マスフローに防爆仕様は存在するの? その2

もう一つのMFC千夜一夜物語が掲載されている日本工業出版さんの「計測技術」誌 2018年7月号(6/25発売)では、マスフローコントローラ(MFC)及びマスフローメータ(MFM)内部の分流構造が、流量の繰り返し性に対して及ぼす影響を解説していますので、本解説と合わせてお読みいただけたらと思います。
マスフローの防爆仕様についてですが、まずは防爆そのものに関して解説していきましょう。
爆発性ガスによる爆発事故を防ぐのが、読んで字のごとくの防爆の役割ですが、あまり一般的に知られていないイメージがあります。
特にマスフローの世界は主戦場であった半導体製造装置等の真空装置分野でこの対応が求められていない為、下手するとメーカーの営業ですら、防爆製品の存在を知らない事があるのです。
例えば石油類は常温状圧でも気化します。
環境条件によっては、スイッチの開閉に伴うわずかな電気火花や静電気による火花で引火や爆発する危険性があるのです。
燃焼用ガス(LPG、LNG 類)も、配管の漏れが生じて空気と混ざり合う事で、やはり爆発が起きますね。
近年でこそ減少していますが、アセチレンガスは現在のアセトンを使った充填方式が採用されるまでは、事故が相次ぎました。
水素社会ともてはやされる水素ガスも、漏れやすく爆発範囲が広いその性質から非常に危険な存在です。

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2018年7月18日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第254話 マスフローに防爆仕様は存在するの? その1

もう一つのMFC千夜一夜物語が掲載されている日本工業出版さんの「計測技術」誌 20187月号(6/25発売)では、マスフローコントローラ(MFC)及びマスフローメータ(MFM)内部の分流構造が、流量の繰り返し性に対して及ぼす影響を解説していますので、本解説と合わせてお読みいただけたらと思います。

 

さて、今回から「防爆」仕様マスフロー(MFCMFMの総称)に関してお話ししましょう。

2017年に「ブロンコスト・ジャパン(株)、本質安全防爆構造MFMTIIS認証を取得!」というニュースがあり、本ブログでも何度か取り上げました。(下写真)

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2018年6月19日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第253話 マスフローメータ(MFM)の運用に関して その5

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 2018年6月号(5/25発売)は、コリオリ式マスフローメータ(MFM)を用いたマスフローポンプ(質量流量ポンプ)の解説ですので、本解説と合わせてお読みいただけたらと思います。

 前回の補足になります。
MFM特有の問題として、もう1つあります。
MFMを真空条件で使用した場合の流量の器差問題です。
これはCFの解説でも少し触れたことがありますが、MFMの場合、二次側が真空条件で使用すると、MFCのようにバルブオリフィスでの圧力損失がないので、そのままセンサー管内部のガス圧が真空となり、ガス密度が下がり、大変希薄な状況となります。

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2018年6月12日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第252話 マスフローメータ(MFM)の運用に関して その4

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 20186月号(5/25発売)は、コリオリ式マスフローメータ(MFM)を用いたマスフローポンプ(質量流量ポンプ)の解説ですので、本解説と合わせてお読みいただけたらと思います。

 

さて今回はマスフローメータ(MFM)特有の問題を解説しましょう。
二酸化炭素を流した場合や、微小流量MFMで顕著なのが、測定の為ガスを流入させた際にMFMの流量出力が実際に流している流量値よりはるかに低い、もしくはゼロに近い値になってしまう現象です。
これはセンサーが過度の突入流量で過冷却されたことから、ゲインを得られなくなってしまっている場合が多いです。

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2018年5月15日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第251話 マスフローメータ(MFM)の運用に関して その3

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 2018年5月号(4/25発売)は誌面の都合で休載となっています。5/25発売の6月号をお楽しみに!

さて、マスフローメータ(MFM)のお話です。
MFMを流量計として使用する場合に起きるトラブルを解説しましょう。
熱式流量センサーを持つMFMはマスフローコントローラ(MFC)と同じく温度影響を受けます。
熱の移動を捉えて流量に変換するセンサーですから、熱を伝える相手=流体温度の変化により感度差が生じるのです。

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2018年5月 8日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第250話 マスフローメータ(MFM)の運用に関して その2

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 2018年5月号(4/25発売)は誌面の都合で休載となっています。
5/25発売の6月号をお楽しみに!
 さて、マスフローメータ(MFM)のお話です。以下にMFMとマスフローコントローラ(MFC)の構造比較図を掲載します。
 

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2018年4月17日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第249話 マスフローメータ(MFM)の運用に関して その1

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 2018年4月号(3/25発売)掲載「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」連載第44回は、この連載でも以前にやりました“MFCテスト”です。実際はテストという名目で取り上げた誤解しやすい項目を解説する記事なのです。

 


さて、今回からは、マスフローメータ(MFM)の使用上の注意に関する解説です。
マスフローコントローラ(MFC)の方が、マスフロー(MFMとMFCの総称)としてはメジャーな存在です。


しかしながら “質量流量計”という言葉が用いられるのはMFMに対してであり、MFCは“質量流量制御器“なのです。

MFMは純粋な流量計であるから、本体内にMFCのような流量制御バルブを持ちません。

流量制御を主目的としたMFCは遠隔操作が可能で、フットプリントが小さく、流路のボリュームも少ない流体制御機器を好む半導製造装置に相性が良かっただけで、本来なら熱式流量計としてはMFMが本流なのです。


市場に出回っている形態としては圧倒的にMFCが多い為、熱式流量計としてのMFMを運用する上で気を付けなくてはいけないポイントがあまり理解されていないのではないかな?とDecoは思っています。

今回からの連載で、MFCとは少し異なるMFMの運用上の癖を理解してもらえればと思います。

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2018年3月20日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第248話 バイパスはトラブルの元なの? その7

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌20183月号(2/25発売)掲載「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」連載第43回は、マスフローコントローラ(MFC)に比べてマイナーな存在のマスフローメータ(MFM)のアプリケーションに関する解説記事です。

 

MFCMFMの最大のトラブルは、センサーチューブとバイパス(層流素子)の分流比が何らかの原因で初期値より変化することという説明から、「じゃあ、どういうマスフローを選べばいいの?分流構造のないマスフローなんてあるの?」というお問い合わせに、現時点でDecoがお勧めしているのは、インサーションタイプの流量センサー、バイパスレスで全量流量測定をのMASS-STREAMシリーズです。
まずは下の動画を見て下さい。



Bronkhorst High-Tech B.V. MASS-STREAM youtubeより

 

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2018年3月13日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第247話 バイパスはトラブルの元なの? その6

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 20183月号(2/25発売)掲載「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」連載第43回は、マスフローコントローラ(MFC)に比べてマイナーな存在のマスフローメータ(MFM)のアプリケーションに関する解説記事です。

 

MFCMFMの最大のトラブルは、センサーチューブとバイパス(層流素子)の分流比が何らかの原因で初期値より変化することという説明から、実際のアプリケーションでのトラブル事例を二つ見て頂きました。

 

「じゃあ、どういうマスフローを選べばいいの?分流構造のないマスフローなんてあるの?」というお問い合わせを頂くのですが、現時点でDecoがお勧めしているのは、インサーションタイプの流量センサーを持ち、バイパスレスで全量流量測定を行っているMASS-STREAMシリーズになります。

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                     【MASS-STREAM 出典:ブロンコスト・ジャパン()

 

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