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2018年1月 9日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第244話 バイパスはトラブルの元なの? その3

明けましておめでとうございます。

本年もEZ-Japanと本ブログを宜しくお願いいたします。

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もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 2018年1月号(12/25発売)掲載「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」連載第41回は、“熱式流量センサー”に関しての解説記事です。
マスフローコントローラ(MFC)&マスフローメーター(MFM)のセンサーとしては最もメジャーな熱式ですが、果たしてどういったものなのかを掘り下げた記事になっていますので、ご一読ください。

さて、マスフロー(MFC&MFMの総称)最大のトラブルは、センサーチューブとバイパス(層流素子)の分流比が何らかの原因で初期値より変化すること・・・というお話をしています。
これがセンサーチューブが完全に詰まった場合なら、前回お話ししたように流量出力は0になるので、まだわかりやすい“目に見えるトラブル“であり、対処方法もあります。
一番怖いのは、中途半端に詰まる事・・・“目に見えないトラブル”の発生なのです。

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2017年12月 7日 (木)

真・MFC千夜一夜物語 第243話 バイパスはトラブルの元なの? その2

今週は2回更新です。

所謂年末進行というか、セミコン進行というやつです。

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 2017年12号(11/25発売)掲載「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」連載第40回は、“液体流量センサー”に関しての解説記事です。

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特集が“半導体プロセスにおける最近の液体極微小計測”となっており、Decoはそちらでもブロンコストのエヴァンジェリストとして、コリオリ式マスフローコントローラ(MFC)&マスフローメーター(MFM)と超音波式フローメーター、そして熱式MFMの記事も書いていますので、初の特殊記事連動した企画となっています。

つまり1冊で3度美味しい?状態なのです。

 

さて、マスフロー(MFC&MFMの総称)最大のトラブルは、センサーチューブとバイパス(層流素子)の分流比が何らかの原因で初期値より変化することにより発生することである、というお話です。

マスフローは一見問題ないように見えるのに、いつの間にか設定流量と制御流量がずれてしまっているというのは、恐ろしい現象ですね。

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2017年11月21日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第242話 バイパスはトラブルの元なの? その1

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌2017年11号(10/25発売)掲載「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」連載第39回は、“防爆構造のマスフローの解説<後編>”となっています。
ATX本質安全防爆構造マスフローコントローラ(MFC)と新たに発表されたTIIS本質安全防爆構造のマスフローメーター(MFM)で流量制御を行う方法を解説しています。

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<出典:ブロンコスト・ジャパン(株)>

さて、今回から“バイパスはトラブルの元なの?“編です。
熱式(サーマル)マスフローメータ(MFM)、マスフローコントローラ(MFC)の構造でバイパス(層流素子)を持っていないものは少数派です。

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2017年10月31日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第241話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その11<完>

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 2017年11号(10/25発売)掲載「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」連載第39回は、“防爆構造のマスフローの解説<後編>”となっています。
ATX本質安全防爆構造マスフローコントローラ(MFC)と新たに発表されたTIIS本質安全防爆構造のマスフローメーター(MFM)で流量制御を行う方法を解説しています。
さて、今回で“コリオリ式は完全無欠の質量流量計“編は完結です。
今までの記事をまとめる形になりますが、参りましょう。
同じ質量流量計に分類されながら、コリオリ式が熱式に勝るポイントはいくつもあります。
振り返ってみましょう。

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2017年9月19日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第240話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その10

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌  2017年9月号(8/25発売)掲載「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」連載第37回は、“マスフローコントローラ(MFC)のトラブルシューティングの解説<後編>”となっています。

今回は “コリオリ式マスフローは、このアプリケーションにお奨め”をご紹介するその2です。

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2017年9月 5日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第239話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その9

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 2017年9月号(8/25発売)掲載「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」連載第37回は、“マスフローコントローラ(MFC)のトラブルシューティングの解説<後編>”となっています。

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<miniCORI-FLOW  出典 ブロンコスト・ジャパン(株)>

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2017年8月 8日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第238話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その8

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 での連載は誌面構成の都合で今月号は休載となってます。次回は「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」2017年9月号(8/25発売予定)で連載37回として、マスフローコントローラ(MFC)のトラブルシューティングの解説<後編>となります。

液体用マスフローを用いた液体材料気化供給システムにコリオリ式マスフローを投入する事のメリットをご説明しましょう。
今までの液体用マスフローのセンサー方式の多くは熱するもの、冷やすものの差はあれ熱式です。
もう何度も見てきましたが、熱式流量計の流量式を再度見てみましょう。

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2017年8月 1日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第237話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その7

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌での連載は誌面構成の都合で今月号は休載となってます。次回は「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」2017年9月号(8/25発売予定)で連載37回として、マスフローコントローラ(MFC)のトラブルシューティングの解説<後編>となります。

さて、微小流量用コリオリ式流量センサーを搭載したマスフローメータ(MFM)やMFCの解説をさせて頂いていますが、セミコン・ジャパンや学会併設展示会に展示していますと、お客様から「この微小流量コリオリマスフローは、どういった用途で使うといいの?」という質問を頂きます。
確かに世の中には熱式微小流量液体マスフローもある訳で、どういったメリットがあるのだろうと考えられるのは、もっともなので、今回から“コリオリ式マスフローは、このアプリケーションにお奨め”をご紹介していきたいと思います。

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2017年7月11日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第236話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その6

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2017年7月号(6/25発売)で連載36回を迎えさせて頂きました。
いやぁ、3年分ですね!
これも皆様のおかげです。
本号ではマスフローコントローラ(MFC)のトラブルシューティングの解説をさせてもらっています。

さて、前回ブロンコスト・ジャパン(株)のコリオリ式マスフロー mini CORI-FLOWシリーズの構造と動作原理を開設するyoutube動画を見て頂きました。

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2017年6月13日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第235話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その5

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2017年6月号(5/25発売)で連載35回を迎えさせて頂きました。
本号ではAPC(Automatic Pressure Controller)の解説をさせてもらっています。

さて、完全無欠の質量流量計と思えるコリオリですが、ウィークポイントはあります、というお話でした。
振動影響以外には、「コリオリ力が弱い質量の小さな流体=低圧条件の気体や微少流量液体を苦手にしている」事があげられます。
だが、この弱点に関しては、微小流量にフォーカスしたコリオリ式マスフローメータ(MFM)、マスフローコントローラ(MFC)を開発してきたブロンコスト・ハイテック社が既にある程度の解決策を提示してくれています。

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<mini CORI-FLOWシリーズ 出展:ブロンコスト・ジャパン(株)>  

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