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2017年6月13日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第235話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その5

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2017年6月号(5/25発売)で連載35回を迎えさせて頂きました。
本号ではAPC(Automatic Pressure Controller)の解説をさせてもらっています。

さて、完全無欠の質量流量計と思えるコリオリですが、ウィークポイントはあります、というお話でした。
振動影響以外には、「コリオリ力が弱い質量の小さな流体=低圧条件の気体や微少流量液体を苦手にしている」事があげられます。
だが、この弱点に関しては、微小流量にフォーカスしたコリオリ式マスフローメータ(MFM)、マスフローコントローラ(MFC)を開発してきたブロンコスト・ハイテック社が既にある程度の解決策を提示してくれています。

Mini_coriflow_m

<mini CORI-FLOWシリーズ 出展:ブロンコスト・ジャパン(株)>  

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2017年5月16日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第233話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その3

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2017年5月号(4/25発売)で連載34回を迎えさせて頂きました。

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                                     コリオリ式マスフロー <出展:ブロンコスト・ジャパン(株)>

本ブログでは、コリオリ式流量センサーの特長をお話ししています。
コリオリは温圧補正の必要ない質量流量計であり、マスフローでよく使われる熱式センサーが、流体の比熱などの固有の物性を流量式に必要なために、流体の物性がわからない場合や、混合比率が不明な流体にはコンバージョンファクター(CF)を固定できない為に、流量計として流量測定用途で使用が難しい(繰り返し性能を重視した計測用途なら使えない訳ではないが)のに対して、物性に左右されないコリオリ式はそれだけで優位に立つ方式です。

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2017年4月25日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第232話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その2

 もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も20174月号(3/25発売)で連載33回を迎えさせて頂きました。

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コリオリ式マスフロー <出展:ブロンコスト・ジャパン(株)>

コリオリ式流量センサーの流量式を下図で示します。

もう何度かこのブログで登場しているので、おなじみの方もおられるかもしれませんね。

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2017年4月18日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第231話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その1

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2017年4月号(3/25発売)で連載33回を迎えさせて頂きました。
4月号では、マスフローコントローラー(MFC)やマスフローメーター(MFM)で使用する流体(ガス)種から、半導体製造プロセスでよく使用される危険な知億種高圧ガス、その代表格としてモノシランを選んで過去の事故事例を紐解きながら、マスフローを使用する上での注意点を解説しています。

さて、今回からコリオリ式質量流量センサーを搭載したマスフロー(MFC&MFMの総称として使います)のお話です。
コリオリ式マスフロー <出展:ブロンコスト・ジャパン(株)>

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2017年3月28日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第230話 MFCの制御不良とは? その12

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2017年4月号(3/25発売)で連載33回を迎えさせて頂きました。
4月号では、マスフローコントローラー(MFC)やマスフローメーター(MFM)で使用する流体(ガス)種から、半導体製造プロセスでよく使用される危険な知億種高圧ガス、その代表格としてモノシランを選んで過去の事故事例を紐解きながら、マスフローを使用する上での注意点を解説しています。

170328_01



MFCは制御しようとするのだけれど、その流量制御の過程がおかしな場合のお話です。
今回は最後の「出流れ」ですね。
出流れ=内部リークともいい、既に本ブログでは解説済みですが、復習の為に振り返ってみましょう。

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2017年2月28日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第229話 MFCの制御不良とは? その11

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2017年3月号(2/25発売)で連載32回を迎えさせて頂きました。

Massstream_06


3月号では、マスフローコントローラー(MFC)やマスフローメーター(MFM)で使用する流体(ガス)種から、水素、ヘリウム、アルゴン、アンモニアを取り上げ、運用上の注意点等を解説しています。
特にアンモニア制御にうってつけのDecoの一押しであるMASS-STREAMも出てきますよ!
本ブログと併せて、宜しくお願い致します。

今回からはMFCは制御しようとするのだけれど、その流量制御の過程がおかしな場合のお話です。今回は「応答遅れ」ですね。

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2017年2月14日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第228話 MFCの制御不良とは? その10

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2017年2月号(1/25発売)で連載31回を迎えさせて頂きました。

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2月号では、コンバージョンファクター(CF)に関する少し掘り込んだ解説から始まり、マスフローコントローラー(MFC)やマスフローメーター(MFM)で使用する流体(ガス)種による注意事項を解説しています。
本ブログと併せて、宜しくお願い致します。

さて、「ガス導入時のオーバーシュートが過大」というMFCの制御不良の解説の続きです

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2017年1月17日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第227話 MFCの制御不良とは? その9

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2017年1月号(12/26発売)で連載30回を迎えさせて頂きました。
1月号では、ブロンコストハイテックさんの最新コリオリ式マスフローによる微小流量測定&制御、そしてギアポンプ等の流量制御機器を制御したドージングシステムを紹介しています。

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本ブログと併せて、宜しくお願い致します。

今回は「ガス導入時のオーバーシュートが過大」ですね。

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2016年12月27日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第226話 MFCの制御不良とは? その8

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も20171月号(12/26発売)で連載30回を迎えさせて頂きました。
1
月号では、ブロンコストハイテックさんの最新コリオリ式マスフローによる微小流量測定&制御、そしてギアポンプ等の流量制御機器を制御したドージングシステムを紹介しています。

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本ブログと併せて、宜しくお願い致します。


さて、今回からはマスフローコントローラー(MFC)は制御しようとするのだけれど、その流量制御の過程がおかしな場合のお話です。
・ハンチングして安定しない
・ガス導入時のオーバーシュートが過大
・応答が遅くて規定時間内に流量制御できない
・出流れが発生して、低流量設定時のみ流量が制御できない

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・高流量設定時のみ、SV>PVとなり流量が頭打ちする
・流量制御が落ち着いた後、一時的にドロップしたりオーバーシュートしたりする
・流量制御はできているが、ゼロ点がどんどんずれて調整不能

こういったトラブルに関して、その要因を見ていきましょう。

 

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2016年11月29日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第225話 MFCの制御不良とは? その7

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も201612月号(11/25発売)で連載29回を迎えさせて頂きました。
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月号では、()フロントさんの常識を超えたニードルバルブ=“スーパーニードル”とセンシリオン()の流量センサーを組み合わせた微小流量制御を紹介しています。

本ブログと併せて、宜しくお願い致します。

マスフローコントローラ(MFC)の制御不良のパターンの解説です。
MFCで実流量異常が生じた場合は、MFCのからの流量信号(PV)を見ていても判断できません。

そこでよく用いられたのが装置のチャンバーを使ってビルドアップ法で流量を測定するという方法でした。

ところがこの方法も「流量検定を行うために、わざわざ装置を止めるなんてけしからん!」という声が強くなってきて、MFCの制御している流量の問題は、MFC自身が検証すべきだとの雰囲気が強まってきます。

そこで実際にラインを止めずにプロセスガス制御中、もしくはガス制御休止中の短時間で流量を検証するイン・サイチュ・フロー・ヴァリフィケーション(In-Situ Flowmeter Verification)機能を搭載したMFCの開発が始まります。

 

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