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2017年8月 8日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第238話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その8

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 での連載は誌面構成の都合で今月号は休載となってます。次回は「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」201年9月号(8/25発売予定)で連載37回として、マスフローコントローラ(MFC)のトラブルシューティングの解説<後編>となります。

液体用マスフローを用いた液体材料気化供給システムにコリオリ式マスフローを投入する事のメリットをご説明しましょう。
今までの液体用マスフローのセンサー方式の多くは熱するもの、冷やすものの差はあれ熱式です。
もう何度も見てきましたが、熱式流量計の流量式を再度見てみましょう。

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2017年8月 1日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第237話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その7

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌での連載は誌面構成の都合で今月号は休載となってます。次回は「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」201年9月号(8/25発売予定)で連載37回として、マスフローコントローラ(MFC)のトラブルシューティングの解説<後編>となります。

さて、微小流量用コリオリ式流量センサーを搭載したマスフローメータ(MFM)やMFCの解説をさせて頂いていますが、セミコン・ジャパンや学会併設展示会に展示していますと、お客様から「この微小流量コリオリマスフローは、どういった用途で使うといいの?」という質問を頂きます。
確かに世の中には熱式微小流量液体マスフローもある訳で、どういったメリットがあるのだろうと考えられるのは、もっともなので、今回から“コリオリ式マスフローは、このアプリケーションにお奨め”をご紹介していきたいと思います。

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2017年7月11日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第236話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その6

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2017年7月号(6/25発売)で連載36回を迎えさせて頂きました。
いやぁ、3年分ですね!
これも皆様のおかげです。
本号ではマスフローコントローラ(MFC)のトラブルシューティングの解説をさせてもらっています。

さて、前回ブロンコスト・ジャパン(株)のコリオリ式マスフロー mini CORI-FLOWシリーズの構造と動作原理を開設するyoutube動画を見て頂きました。

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2017年6月13日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第235話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その5

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2017年6月号(5/25発売)で連載35回を迎えさせて頂きました。
本号ではAPC(Automatic Pressure Controller)の解説をさせてもらっています。

さて、完全無欠の質量流量計と思えるコリオリですが、ウィークポイントはあります、というお話でした。
振動影響以外には、「コリオリ力が弱い質量の小さな流体=低圧条件の気体や微少流量液体を苦手にしている」事があげられます。
だが、この弱点に関しては、微小流量にフォーカスしたコリオリ式マスフローメータ(MFM)、マスフローコントローラ(MFC)を開発してきたブロンコスト・ハイテック社が既にある程度の解決策を提示してくれています。

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<mini CORI-FLOWシリーズ 出展:ブロンコスト・ジャパン(株)>  

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2017年5月30日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第234話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その4

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も20176月号(5/25発売)で連載35回を迎えさせて頂きました。本号でAPC(Automatic Pressure Controller)の解説をさせてもらっています。

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APC(Automatic Pressure Controller) 出展:ブロンコスト・ジャパン(株)

ブログの方では、今回も引き続きコリオリ式流量センサーの特長のお話です。

コリオリ式流量計は流体の物性をその流量式に必要としない為、アンノウンな流体や混合比率のわからない流体でも質量流量の測定が可能です。
これはコリオリの特筆すべきポイントとなっています。
その点を高く評価して「コリオリ式こそが完全無欠の質量流量計に近い」と、Decoは考えています。

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2017年5月16日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第233話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その3

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2017年5月号(4/25発売)で連載34回を迎えさせて頂きました。

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                                     コリオリ式マスフロー <出展:ブロンコスト・ジャパン(株)>

本ブログでは、コリオリ式流量センサーの特長をお話ししています。
コリオリは温圧補正の必要ない質量流量計であり、マスフローでよく使われる熱式センサーが、流体の比熱などの固有の物性を流量式に必要なために、流体の物性がわからない場合や、混合比率が不明な流体にはコンバージョンファクター(CF)を固定できない為に、流量計として流量測定用途で使用が難しい(繰り返し性能を重視した計測用途なら使えない訳ではないが)のに対して、物性に左右されないコリオリ式はそれだけで優位に立つ方式です。

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2017年4月25日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第232話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その2

 もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も20174月号(3/25発売)で連載33回を迎えさせて頂きました。

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コリオリ式マスフロー <出展:ブロンコスト・ジャパン(株)>

コリオリ式流量センサーの流量式を下図で示します。

もう何度かこのブログで登場しているので、おなじみの方もおられるかもしれませんね。

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2017年4月18日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第231話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その1

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2017年4月号(3/25発売)で連載33回を迎えさせて頂きました。
4月号では、マスフローコントローラー(MFC)やマスフローメーター(MFM)で使用する流体(ガス)種から、半導体製造プロセスでよく使用される危険な知億種高圧ガス、その代表格としてモノシランを選んで過去の事故事例を紐解きながら、マスフローを使用する上での注意点を解説しています。

さて、今回からコリオリ式質量流量センサーを搭載したマスフロー(MFC&MFMの総称として使います)のお話です。
コリオリ式マスフロー <出展:ブロンコスト・ジャパン(株)>

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2017年3月28日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第230話 MFCの制御不良とは? その12

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2017年4月号(3/25発売)で連載33回を迎えさせて頂きました。
4月号では、マスフローコントローラー(MFC)やマスフローメーター(MFM)で使用する流体(ガス)種から、半導体製造プロセスでよく使用される危険な知億種高圧ガス、その代表格としてモノシランを選んで過去の事故事例を紐解きながら、マスフローを使用する上での注意点を解説しています。

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MFCは制御しようとするのだけれど、その流量制御の過程がおかしな場合のお話です。
今回は最後の「出流れ」ですね。
出流れ=内部リークともいい、既に本ブログでは解説済みですが、復習の為に振り返ってみましょう。

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2017年2月28日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第229話 MFCの制御不良とは? その11

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2017年3月号(2/25発売)で連載32回を迎えさせて頂きました。

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3月号では、マスフローコントローラー(MFC)やマスフローメーター(MFM)で使用する流体(ガス)種から、水素、ヘリウム、アルゴン、アンモニアを取り上げ、運用上の注意点等を解説しています。
特にアンモニア制御にうってつけのDecoの一押しであるMASS-STREAMも出てきますよ!
本ブログと併せて、宜しくお願い致します。

今回からはMFCは制御しようとするのだけれど、その流量制御の過程がおかしな場合のお話です。今回は「応答遅れ」ですね。

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