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真・MFC千夜一夜物語 ブログのご案内

アクセス頂きありがとうございます。
当ブログは以下のコンテンツで構成しております。

真・MFC千夜一夜物語(第1期 1~135話) 
 商用ブログに数年に渡って連載してきた「MFC千夜一夜物語シリーズ」(MFC千夜一夜物語&新・MFC千夜一夜物語)全135話を「真・MFC千夜一夜物語」としてアップデート、リマスター作業を行ったものです。

真・MFC千夜一夜物語(第2期 136話以降)
2013年10月からは完全新作「真・MFC千夜一夜物語(第2期)」として始めさせ頂いています。原則週1回の更新を目処に、まだ触れていない部分や、皆様からの疑問・質問等を題材に取材を行い、更に掘り込んでいきたいと思っています。

EZ-Japan MFCニュース
 MFCや関連業界のニュースをピックアップして、紹介記事を書かせて頂くコーナーです。

EZ-Japan ここをもう一押し!
 MFCや周辺機器で皆様にご紹介したいメーカーさんや製品を取り上げるコーナーです。

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EZ-Japan HP マスフロー千夜一夜物語
2016/11/1から開設しましたEZ-Japanのホームページです。
おすすめ製品に関する記事や、各ブログのリンク等、EZ-JapanのWEB活動の母艦的な存在です。

EZ-Japan BLOG ~Perfect Stranger in Town~
本ブログの姉妹サイトです。真・MFC千夜一夜物語の並行連載、Decoの闘病体験やダイエット日記、営業研修などの活動記録になっています。

日本工業出版のHP
日本工業出版さんの「計測技術」誌で、マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>というタイトルで連載をさせて頂いてます。

EZ-Japan by Deco

2018年6月19日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第253話 マスフローメータ(MFM)の運用に関して その5

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 2018年6月号(5/25発売)は、コリオリ式マスフローメータ(MFM)を用いたマスフローポンプ(質量流量ポンプ)の解説ですので、本解説と合わせてお読みいただけたらと思います。

 前回の補足になります。
MFM特有の問題として、もう1つあります。
MFMを真空条件で使用した場合の流量の器差問題です。
これはCFの解説でも少し触れたことがありますが、MFMの場合、二次側が真空条件で使用すると、MFCのようにバルブオリフィスでの圧力損失がないので、そのままセンサー管内部のガス圧が真空となり、ガス密度が下がり、大変希薄な状況となります。

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2018年6月12日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第252話 マスフローメータ(MFM)の運用に関して その4

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 20186月号(5/25発売)は、コリオリ式マスフローメータ(MFM)を用いたマスフローポンプ(質量流量ポンプ)の解説ですので、本解説と合わせてお読みいただけたらと思います。

 

さて今回はマスフローメータ(MFM)特有の問題を解説しましょう。
二酸化炭素を流した場合や、微小流量MFMで顕著なのが、測定の為ガスを流入させた際にMFMの流量出力が実際に流している流量値よりはるかに低い、もしくはゼロに近い値になってしまう現象です。
これはセンサーが過度の突入流量で過冷却されたことから、ゲインを得られなくなってしまっている場合が多いです。

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2018年6月 5日 (火)

EZ-Japanは5年目を迎えます

お世話になります。
6/1でEZ-Japanは5年目を迎えました。
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毎年同じことを書いてきたのですが、この一年間もほんとに瞬く間でした。
新たな提携先としてブロンコスト・ジャパン(株)さんとのお付き合いも2年目を迎え、共同でセミコンジャパン2017等の展示会や学会併設展示会、セミナーに参加したり、マスフロー千夜一夜物語の分冊を作っていただいたり、日工セミナーでは二度にわたり講師を務めさせて頂いたりと、あわただしい1年でした。

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2018年5月29日 (火)

【用語解説】Cv値とKv値

日本ではバルブのサイジングでCv値という言葉が良く使われます。
それに対して、ブロンコストのようなEUのメーカーが用いるKv値というのもありまして、よくわからないよ!というご質問があったので、簡単に解説しましょう。

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2018年5月22日 (火)

ISO/IEC 17025:2005認定 Bronkhorst® Calibration Centre

ブロンコスト・ハイテック(Bronkhorst High-Tech B.V.)は、EUでトップ、世界でも5本の指に入るマスフローコントローラ(MFC)、マスフローメータ(MFM)メーカーです。
ブロンコストの特長的なところは、マスフロー(MFC,MFMの総称)を製造するだけではなく、校正事業者としての側面もある事です。

しかもブロンコスト校正センター(Bronkhorst Calibration Centre; BCC)はオランダ認証機関(RvA)によりISO/IEC 17025:2005の認定を受けており、認証番号はK 127です。

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2018年5月15日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第251話 マスフローメータ(MFM)の運用に関して その3

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 2018年5月号(4/25発売)は誌面の都合で休載となっています。5/25発売の6月号をお楽しみに!

さて、マスフローメータ(MFM)のお話です。
MFMを流量計として使用する場合に起きるトラブルを解説しましょう。
熱式流量センサーを持つMFMはマスフローコントローラ(MFC)と同じく温度影響を受けます。
熱の移動を捉えて流量に変換するセンサーですから、熱を伝える相手=流体温度の変化により感度差が生じるのです。

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2018年5月 8日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第250話 マスフローメータ(MFM)の運用に関して その2

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 2018年5月号(4/25発売)は誌面の都合で休載となっています。
5/25発売の6月号をお楽しみに!
 さて、マスフローメータ(MFM)のお話です。以下にMFMとマスフローコントローラ(MFC)の構造比較図を掲載します。
 

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2018年4月27日 (金)

ゴールデンウイーク休業のお知らせ

お世話になります。 寒暖差が激しい4月でした。 確実に次の季節へと移り変わるのは...

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2018年4月24日 (火)

ご冥福をお祈りします

去る4月17日 日立金属株式会社 (Ex:アドバンスドエナジージャパン株式会社(AE)、日本アエラ株式会社)でマスフローの販売に活躍された 渡邊 政光氏 (享年60歳) が、お亡くなりになりました。

突然の訃報に、Decoも頭が真っ白になってしまうくらいの衝撃を受けました。
二十数年前、当時は東北で半導体製造工場の設備投資が盛んで、シリコンロードと呼ばれ華やかなりし頃に激戦を繰り広げた強豪の御一方でした。

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2018年4月17日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第249話 マスフローメータ(MFM)の運用に関して その1

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 2018年4月号(3/25発売)掲載「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」連載第44回は、この連載でも以前にやりました“MFCテスト”です。実際はテストという名目で取り上げた誤解しやすい項目を解説する記事なのです。

 


さて、今回からは、マスフローメータ(MFM)の使用上の注意に関する解説です。
マスフローコントローラ(MFC)の方が、マスフロー(MFMとMFCの総称)としてはメジャーな存在です。


しかしながら “質量流量計”という言葉が用いられるのはMFMに対してであり、MFCは“質量流量制御器“なのです。

MFMは純粋な流量計であるから、本体内にMFCのような流量制御バルブを持ちません。

流量制御を主目的としたMFCは遠隔操作が可能で、フットプリントが小さく、流路のボリュームも少ない流体制御機器を好む半導製造装置に相性が良かっただけで、本来なら熱式流量計としてはMFMが本流なのです。


市場に出回っている形態としては圧倒的にMFCが多い為、熱式流量計としてのMFMを運用する上で気を付けなくてはいけないポイントがあまり理解されていないのではないかな?とDecoは思っています。

今回からの連載で、MFCとは少し異なるMFMの運用上の癖を理解してもらえればと思います。

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