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真・MFC千夜一夜物語 ブログのご案内

アクセス頂きありがとうございます。
当ブログは以下のコンテンツで構成しております。

真・MFC千夜一夜物語(第1期 1~135話) 
 商用ブログに数年に渡って連載してきた「MFC千夜一夜物語シリーズ」(MFC千夜一夜物語&新・MFC千夜一夜物語)全135話を「真・MFC千夜一夜物語」としてアップデート、リマスター作業を行ったものです。

真・MFC千夜一夜物語(第2期 136話以降)
2013年10月からは完全新作「真・MFC千夜一夜物語(第2期)」として始めさせ頂いています。原則週1回の更新を目処に、まだ触れていない部分や、皆様からの疑問・質問等を題材に取材を行い、更に掘り込んでいきたいと思っています。

EZ-Japan MFCニュース
 MFCや関連業界のニュースをピックアップして、紹介記事を書かせて頂くコーナーです。

EZ-Japan ここをもう一押し!
 MFCや周辺機器で皆様にご紹介したいメーカーさんや製品を取り上げるコーナーです。

リンク

EZ-Japan HP マスフロー千夜一夜物語
2016/11/1から開設しましたEZ-Japanのホームページです。
おすすめ製品に関する記事や、各ブログのリンク等、EZ-JapanのWEB活動の母艦的な存在です。

EZ-Japan BLOG ~Perfect Stranger in Town~
本ブログの姉妹サイトです。真・MFC千夜一夜物語の並行連載、Decoの闘病体験やダイエット日記、営業研修などの活動記録になっています。

日本工業出版のHP
日本工業出版さんの「計測技術」誌で、マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>というタイトルで連載をさせて頂いてます。

EZ-Japan by Deco

2018年4月24日 (火)

ご冥福をお祈りします

去る4月17日 日立金属株式会社 (Ex:アドバンスドエナジージャパン株式会社(AE)、日本アエラ株式会社)でマスフローの販売に活躍された 渡邊 政光氏 (享年60歳) が、お亡くなりになりました。

突然の訃報に、Decoも頭が真っ白になってしまうくらいの衝撃を受けました。
二十数年前、当時は東北で半導体製造工場の設備投資が盛んで、シリコンロードと呼ばれ華やかなりし頃に激戦を繰り広げた強豪の御一方でした。

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2018年4月17日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第249話 マスフローメータ(MFM)の運用に関して その1

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 2018年4月号(3/25発売)掲載「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」連載第44回は、この連載でも以前にやりました“MFCテスト”です。実際はテストという名目で取り上げた誤解しやすい項目を解説する記事なのです。

 


さて、今回からは、マスフローメータ(MFM)の使用上の注意に関する解説です。
マスフローコントローラ(MFC)の方が、マスフロー(MFMとMFCの総称)としてはメジャーな存在です。


しかしながら “質量流量計”という言葉が用いられるのはMFMに対してであり、MFCは“質量流量制御器“なのです。

MFMは純粋な流量計であるから、本体内にMFCのような流量制御バルブを持ちません。

流量制御を主目的としたMFCは遠隔操作が可能で、フットプリントが小さく、流路のボリュームも少ない流体制御機器を好む半導製造装置に相性が良かっただけで、本来なら熱式流量計としてはMFMが本流なのです。


市場に出回っている形態としては圧倒的にMFCが多い為、熱式流量計としてのMFMを運用する上で気を付けなくてはいけないポイントがあまり理解されていないのではないかな?とDecoは思っています。

今回からの連載で、MFCとは少し異なるMFMの運用上の癖を理解してもらえればと思います。

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2018年4月10日 (火)

ブロンコスト 新製品と新技術発表!

ブロンコスト・ジャパン(株) セールスブログ と Bronkhorst High-Tech B.V. のブログから新製品と新技術の話題を2点ピックアップしてみましょう。

まずは ブロンコスト/マスフローのブログ から MASS-STREAMの新ラインナップがどうやら出てきそうな気配です。
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【出典:ブロンコスト・ジャパン(株)】

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2018年4月 3日 (火)

注意!流量単位には罠がありますよ!!

流量計、特にマスフローコントローラやマスフローメータで使用される流量単位は複雑です。
マスフロー=質量流量 計を謳いながら、質量流量単位g/hを使用する事は希です。

代わりに体積流量単位を使用するのですが、この場合は 温度&圧力条件での定義が必要です。
SCCM=Standard CC/Min  SLM= Standard Litter /Min
*mls/min , ls/min や ml/min[S] ,  l/min[S] も同じSTANDARD(標準状態)を示すが、業界により標準となる温度が異なるので要注意
半導体業界で使用するSCCM、SLMが0℃標準 その他業界で用いるmls/min や ls/min, , ml/min[S] ,  l/min[S]  は日本では20℃だが、USAや中国では更に異なります!

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2018年3月27日 (火)

日工セミナー2018 流量校正設備の最新動向 (4月20日開催)

マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>の連載にてお世話になっている日本工業出版(株)主催の 日工セミナー2018 「流量校正設備の最新動向」(←セミナーHPへリンクあり) の中で、ブロンコスト・ジャパン(株)のマスフローの校正体系解説のお時間を頂き、講師を務めさせていただく事になりました。
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2018年3月20日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第248話 バイパスはトラブルの元なの? その7

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌20183月号(2/25発売)掲載「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」連載第43回は、マスフローコントローラ(MFC)に比べてマイナーな存在のマスフローメータ(MFM)のアプリケーションに関する解説記事です。

 

MFCMFMの最大のトラブルは、センサーチューブとバイパス(層流素子)の分流比が何らかの原因で初期値より変化することという説明から、「じゃあ、どういうマスフローを選べばいいの?分流構造のないマスフローなんてあるの?」というお問い合わせに、現時点でDecoがお勧めしているのは、インサーションタイプの流量センサー、バイパスレスで全量流量測定をのMASS-STREAMシリーズです。
まずは下の動画を見て下さい。



Bronkhorst High-Tech B.V. MASS-STREAM youtubeより

 

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2018年3月13日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第247話 バイパスはトラブルの元なの? その6

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 20183月号(2/25発売)掲載「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」連載第43回は、マスフローコントローラ(MFC)に比べてマイナーな存在のマスフローメータ(MFM)のアプリケーションに関する解説記事です。

 

MFCMFMの最大のトラブルは、センサーチューブとバイパス(層流素子)の分流比が何らかの原因で初期値より変化することという説明から、実際のアプリケーションでのトラブル事例を二つ見て頂きました。

 

「じゃあ、どういうマスフローを選べばいいの?分流構造のないマスフローなんてあるの?」というお問い合わせを頂くのですが、現時点でDecoがお勧めしているのは、インサーションタイプの流量センサーを持ち、バイパスレスで全量流量測定を行っているMASS-STREAMシリーズになります。

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                     【MASS-STREAM 出典:ブロンコスト・ジャパン()

 

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2018年3月 7日 (水)

ブロンコスト・ジャパン(株) 更なる微小流量コリオリ式マスフローを発売へ!

ブロンコスト・ジャパン(株)セールスブログにMEMSベースのコリオリ式マスフローメータ・コントローラ という記事がアップされていますので、ご紹介です。

新型MEMSセンサータイプのコリオリ式マスフローメータ(MFM)&コントローラ(MFC)で更なる微小流量対応(テストモデルで、0.01~2 g/h)のガスおよび液体の測定・制御を達成したと報じられています!

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【MEMSタイプコリオリ式マスフロー デモモデル 出典:ブロンコスト・ジャパン(株)】

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2018年2月27日 (火)

DDDシリーズにニューバージョンが追加されました!

今回の「EZ-Japan ここでもうひと押し!」は、京都府京田辺市/八幡市にあるotal ystem actory(代表 奥西泰男さん 以下T.S.F.と略記)の新製品 ポータブル加湿ユニットDDDシリーズのニューバージョンをご紹介します。


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 T.S.F.は関西を拠点に長年培ってきたガス制御装置(ガス混合装置・定流量装置・炉体用雰囲気ガス制御装置) 、ガス加湿装置(定露点発生装置・ガスバブリングユニット) 、ガス露点測定装置・水循環ユニット・実験室、研究室の専用ユニット設計・製作から、一品モノの特殊配管部品の製作までを請け負う流体制御一筋!のクラフトマンシップに溢れるユニークな存在です。

そのT.S.F.のラインアップ、ポータブル加湿ユニットDDDシリーズに外部制御機能を搭載した新バージョンが追加されましたので、ご紹介しましょう。

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2018年2月20日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第246話 バイパスはトラブルの元なの? その5

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 2018年2月号(1/25発売)掲載「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」連載第42回は、熱式流量センサーを用いる際のキーワードとなる“コンバージョンファクター(CF)”に関する解説記事です。

さて、マスフローコントローラ(MFC)&マスフローメーター(MFM)の最大のトラブルは、センサーチューブとバイパス(層流素子)の分流比が何らかの原因で初期値より変化することなのですが、特に注意すべきアプリケーションとして、コンプレッサーやブロアで大気を吸引して押し込む場合、または吸引ポンプで大気を捕集する場合、いずれも大気という我々が生活している空間に存在する空気(ボンベで販売されている“乾燥空気“とは異なります。)をマスフローへ導入する場合のご説明を前回は致しました。

今回はマスフローの内部で反応して異物を生成するガスの場合です。

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«【注意喚起】マスフローを修理返却するに当たってのお願い

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